UV光氧催化废气净化该技术通过特定波长的UV激发光源产生不同能量的光量子；废气物质对该光量子的强烈吸收，在大量携能光量子的轰击下使废气物质分子解离和激发，空气中的氧气和水分及外加的臭氧在该光量子的（分解）作用下可产生大量的新生态氢、活性（游离）氧和羟基氧等活性基团；因游离氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧，臭氧对紫外线光束照射分解后的有机物具有强的氧化作用；部分废气物质也能与活性基团反应，降解转化为低分子化合物、CO2和H2O 等无害物质，从而达到净化废气的目的。

UV光氧催化废气净化UV紫外线对空气中的氧气发作分化作用，推进氧分子分化变成游离态的氧，因为游离态氧上的正负电子处于不平衡状态，因而游离态氧易与氧分子联系生成臭氧，而臭氧的强氧化作用可以推进挥发性废气的分化。在UV设备内安装着紫外线放电管，紫外线放电管发作的光子能量可以高达647KJ/mol、742KJ/mol，如此高的光子能可以裂解小于该能量的挥发性废气的分子键，使其转变为无机小分子物质。

在UV光氧催化氧化废气设备中增加纳米级其他活性资料，将活性资料给予紫外线照耀，活性资料可以吸收大量的光能，于外表发作鼓励进而生成h+（空穴）与e-（电子），而空穴与电子所具有的氧化复原才能，可与氧、水发作反响，生成具有强氧化才能的·OH（氢氧根自由基）与·O2-（阴氧离子）。·OH氧化电位适当高，可以氧化挥发性废气中的电子，推进无光吸收才能物质的氧化分化。研讨发现，在紫外光的能量以及纳米活性催化氧化作用下，挥发性废气在短短2-3秒的时刻内就可以被充分分化。光氧催化技能是在外界可见光的作用下发作催化作用，以半导体及空气为催化剂，以光为能量，将物降解为CO2和H2O及其它成份，废臭气体通过处理后可到达净化的理想的作用。因为在光催化氧化反响过程中无任何增加剂，所以不会发作二次污染，运转本钱方面仅仅用到电能，无需常常替换配件，对于公司、企业来说使用上是适当的节能环保。